电子半导体传感器,用于测量以下至少两种量:大气压力、温度（包括温度补偿）、湿度或挥发性有机化合物；封装适于自动印刷电路板或裸片技术,含一个或多个专用集成电路（ASIC）及一个或多个微机电传感器元件（MEMS）,用于装入第84至90章及第95章的产品

Elektronischer Halbleitersensor zur Messung von mindestens zwei der folgenden Größen -|atmosphärischer Druck, Temperatur (auch zur Temperaturkompensation), Luftfeuchtigkeit oder flüchtige organische Verbindungen -|in einem für die vollautomatisierte Leiterplattenbestückung oder die Bare-Die-Technologie geeigneten Gehäuse mit -|einer oder mehreren anwendungsspezifischen monolithisch integrierten Schaltungen (ASIC) -|einem oder mehreren mikromechanischen Sensorelementen (MEMS) mit mechanischen Elementen in dreidimensionalen Strukturen auf dem Halbleitermaterial in Halbleitertechnik gefertigt von der zum Einbau in Waren der Kapitel|84|bis|90|und 95|verwendeten Art

Electronic semiconductor sensor for measuring at least two of the following quantities: -|Atmospheric pressure, temperature, (also for temperature compensation), humidity, or volatile organic compounds, -|in a housing suitable for the automatic printing of conductor boards or Bare Die technology, containing : -|one or more monolithic application-specific integrated circuits (ASIC), -|one or more microelectromechanical sensor elements (MEMS) manufactured with semiconductor technology, with mechanical components arranged in three-dimensional structures on the semiconductor material, of a kind used for incorporation into products of Chapters 84-90|and 95