光掩模或晶圆盒:由抗静电材料或具有特殊静电放电和除气性能的混合热塑性塑料制成,具有无孔、耐磨或抗冲击表面,配有专门设计的保护光掩模或晶圆免受表面或外观损伤的固定系统,带或不带垫圈密封,用于光刻或其他半导体生产中存放光掩模或晶圆

Fotomasken- oder Siliciumscheibenbehälter -|bestehend aus antistatischen Materialien oder Thermoplastmischungen mit speziellen antistatischen und Ausgasung verhindernden Eigenschaften, -|mit nichtporöser, abrieb- oder schlagfester Oberfläche, -|mit einer speziellen Haltevorrichtung zum Schutz der Fotomaske oder Siliciumscheibe vor Oberflächenbeschädigungen und kosmetischen Schäden, -|mit oder ohne Dichtung, von der bei der Fotolithografie oder anderer Halbleitertechnik zur Aufbewahrung von Fotomasken oder Sililciumscheiben verwendeten Art

Photomask or wafer compacts: -|consisting of antistatic materials or blended thermoplastics proving special electrostatic discharge (ESD) and outgassing properties, -|having non porous, abrasion resistant or impact resistant surface properties, -|fitted with a specially designed retainer system that protects the photomask or wafers from surface or cosmetic damage and -|with or without a gasket seal, of a kind used in the photolithography or other semiconductor production to house photomasks or wafers